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    3D光學(xué)干涉輪廓儀技術(shù)詳解:從原理到應用

    更新時(shí)間:2024-05-30      點(diǎn)擊次數:149
        一、技術(shù)原理
        3D光學(xué)干涉輪廓儀主要基于白光干涉原理進(jìn)行工作。其光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后,通過(guò)分光棱鏡分成兩束。一束光經(jīng)被測表面反射,另一束光經(jīng)參考鏡反射。兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,形成干涉條紋。這些干涉條紋通過(guò)顯微鏡轉化為信號,再由專(zhuān)業(yè)軟件進(jìn)行處理,以獲取樣品表面的三維形貌。
        二、技術(shù)特點(diǎn)
        高精度:利用白光干涉技術(shù),3D光學(xué)干涉輪廓儀可實(shí)現納米級甚至亞納米級的測量精度。
        非接觸式:通過(guò)光學(xué)原理進(jìn)行測量,無(wú)需與被測物體直接接觸,避免了機械磨損和樣品損傷。
        快速便捷:優(yōu)化聚焦和算法使得測量速度極快,能夠快速構建3D圖形表面。
        三、應用領(lǐng)域
        3D光學(xué)干涉輪廓儀廣泛應用于多個(gè)領(lǐng)域:
        材料科學(xué):用于納米材料、半導體等材料的表面形貌和粗糙度測量。
        航空航天:對航空器、衛星等高精度零部件的表面質(zhì)量進(jìn)行檢測。
        精密制造業(yè):測量各類(lèi)精密儀器、設備及工具表面的形貌,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
        生物醫學(xué):對生物組織、細胞等表面形貌進(jìn)行非破壞性測量,為生物學(xué)研究提供支持。
        總之,3D光學(xué)干涉輪廓儀以其高精度、非接觸式、快速便捷的特點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域展現出廣泛的應用前景。
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